西门子 | 激光干涉仪检测指导

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R2 为测量次数，一个往返为一次

R2=1

;R2 为测量次数，一往返为一次:开始测试的个点坐标;远的测量点的坐标:正向走的坐标值(间隔)

:开始测试的个点坐标

R3=0

R3--380

;远的测量点的坐标

R4=400

R4=0

R11-20

;正向走的坐标值(间隔)